香港MicroVision Plus 残余气体分析仪的详细介绍
MicroVision Plus这个产品的技术是基于MKS残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术,利用最先进的射频电路模块设计和数据采集电路模块。MicroVision Plus拥有卓越的性能,为要求最严格的应用所需;高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描,使得工艺偏差和气体组成改变的监测变得很容易。
MicroVision Plus产品有艺术级的电路模块,并配有最新的气体分析传感头,MicroVision Plus特色是“智能头”技术,电路模块直接装到分析传感头上,通过RS232或RS422连接到系统的电脑。为了满足特殊需要,MKS可提供开放式离子源和超高真空离子源。开放式离子源由不锈钢和高纯氧化铝陶瓷制成,其特点是有相互独立的可替换的双灯丝,提供内建的备用灯丝以延长工作时间而不需破真空(换灯丝)。另外,此可替换的离子源可以清洁和修复,能延长传感头的寿命。超高真空离子源基于低热惰性设计,可快速除汽且少放气,由于嵌入了铂罩,能减少ESD(电子刺激释放)峰的发生。 为抗污染、增强长期稳定性和高质量数灵敏性,MicroVision Plus配有作为标准的预过滤的四极分析头。如需高分辨率和最更大质量数的应用,MKS可提供3级过滤器的分析头。
特色与优点
高稳定性射频和数据采集电路模块,最小温度漂移,快速预热快速大范围动态扫描—工艺成分偏差的快速检测预过滤分析头,提高抗污染和加强高质量数灵敏性
灵活的输入输出性能,方便于机台和其他传感器连接
在微软的Windows软件里运行
. 互动,使用简单,特点俱全
. 有数据记录存储
. 任选的多个分析头同时运行的功能
使用Process Eye2000软件可以:
. 进行先进过程菜单的创建与跟踪
. 菜单有“用户设定”报警功能
. 屏幕可同时显示多个图表
服务用户的设计理念
应用
用于残余气体分析,MicroVision Plus优越的性能,以及其宽范围的设置,使得MicroVision Plus成为很多应用领域理想选择,包括: 超高真空应用,真空镀膜,加速器高能物理
恶劣的环境,如高温和离子辐射
高性能应用,如:
. 高质量数品种的研究与发展
. 高精度的研究,如低分子量
. 分子研究,和不同于氘的氦的研究
基于Windows的RGA(残气分析)控制平台
MicroVision Plus可用基于Windows的RGA(残气分析)控制平台来运行,这是一个直观性好的软件包,被广泛认为容易使用。此控制平台可提供较多数据采集与显示示意图,包括条形图示(Bar Chart)与光谱库比较,Peak Jump(峰值跳跃),趋势分析和有漏检查。还有一个高速多峰值示意图称“快速扫描”。Windows的RGA(残气分析)控制平台包含一个DDE(动态数据交换)链接,与基于Windows的其他程序交换数据与控制信号。此平台自动运行中有一个很突出的功能,其有一个单独的记忆数据库,既可离线使用,也可与Windows的RGA(残气分析)控制平台同时使用,将以前存储的数据与在线数据做直接对比。另外,MKS能提供运行多传感器的Windows的RGA(残气分析)控制平台,可以同时运行多台MicroVision Plus。
峰值跳跃模式显示可调节的高/低报警设置及已触发的报警
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技术参数: |
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硬件
质量数范围(可选): 1-100, 1-200, 1-300amu(标准), 1-6&1-100amu高性能(可选)
最大运行压力 : 7.6×10-5 Torr(1×10-4 mbar)
最小可检分压 : Faraday:1.5×10-11 Torr(2×10-11 mbar)
通道口 SEM: 3.8×10-14 Torr(5×10-14 mbar)
单通道 SEM: 7.6×10-14 Torr(5×10-14 mbar)
质量数稳定性 优于±0.1amu,超过8小时,环境温度不变
分辨率 优于10%波谷,在等高波峰值之间,在整个质量数范围
分析头
烘烤温度 250℃(移走电路模块)
最大运行温度 200℃(仅适用于法拉弟模式,电路模块水平安装)
连接法兰 DN40CF(70mm/2.75”OD)
离子源(可选) 开放,超高真空,关闭和交叉束
离子源灵敏性 2×10-4 A/mbar
离子源参数 电子能:20-100eV, 发射电流:0-5mA
离子能:0-10V,潜在离子提出:0~-130V(可从PC调节)
超高真空分析头放气率 少于1×10-9 mbarL/S
灯丝 双钨灯丝(ThO2/lr或Y2O3/lr,可任选)
控制单元/电脑
电子模块重量 2.1公斤
电源 24VDC,3.4 A 外接电源(包含)
最大运行环境温度 35℃,80% 相对湿度RH(非冷凝)
LED状态指示 灯丝1,灯丝2,SEM,电源和通讯
MircroVision Plus输入输出 基于Windows的RGA软件:4个模拟输入(1个作为外围真空规读数),12TTL输出信号;Process Eye 2000软件:4个模拟输入(0-10V, 16位),1个模拟输出(0-10V, 16位),16数字TTL I/O,1个光隔离灯丝控制输入
输入输出(基于电脑可选) Process Eye 2000软件:支持ISA区的通用I/O卡,支持PCI区的DTS300 I/O卡,支持一些产品设置的Modbus/GEM SECS
其他配备 可调音量的有声检漏耳机插座,外部的灯丝保护喇叭和插座,仪器重启键
软件 基于Windows的RGA软件:适用于Windows3.1, 3.11, 95/98, NT40, Millennium和2000;Process Eye 2000软件:完全适配于由WindowsNT4.0, Me, 2000或XP(推荐)产生的网络控制平台。
MicroVision Plus的通讯 基于Windows的RGA软件:RS232C,9600波特率,15米。 Process Eye 2000软件:RS232C,波特率为9600,15米; RS422,波特率为115000,1.2千米。
推荐的电脑 奔腾3,233Mhz,64MB内存,6G硬盘,多传感头分析仪器的安装可能需更高的配置。
任选件和插入式模块
防辐射延长装置(用于电路模块远程放置) 两个任选的延长器:3米和15米
远程真空控制器(RVC) 提供不同真空系统的连锁的基于PC的控制
阀门驱动器 将TTL逻辑信号转换为24伏输出信号
阀门控制器 通过电脑自控来控制多路阀门
运输信息
全部仪器重量 10Kg
MicroVision Plus的包装尺寸 430mm×390mm×330mm
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