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产品详细信息
孔径规的详细介绍
WOQ SYSREM Ⅰ
X、Y、Z轴行程：150×150×120mm
分解度 ：0.00625mm
定位精度 ：0.01mm
重复精度 ：2.5um
定位速度 ：4m/min
WOQ SYSTEM Ⅱ
X、Y、Z 轴行程：350×250×120mm
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聚光物镜规格 |
FL16 |
FL25 |
FL50 |
FL75 |
FL100 |
FL125 |
FL150 |
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绝对精度(um) |
2 |
3 |
6 |
10 |
15 |
20 |
25 |
|
重复精度(um) |
0.1 |
0.4 |
1 |
2 |
4 |
8 |
10 |
|
测定行程(mm) |
0.5 |
1.8 |
8 |
18 |
35 |
45 |
70 |
|
工作距离(mm) |
9 |
15 |
35 |
60 |
70 |
240 |
110 |
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